8.4 其他特种尾气处理系统

8.4.1 尾气处理设备的处理效率和出口浓度应符合下列规定：
1 设备的处理效率不应低于99％；
2 处理后的污染因子浓度宜在PC-TWA值以下；
3 处理后的燃烧爆炸性气体浓度应在爆炸下限值的25％以下。

8.4.2 外延设备的尾气处理设备的设置应符合下列规定：
1 外延尾气处理系统应单独设置；
2 应按防爆系统设置；
3 不应就近设置在外延炉旁边和下技术夹层内；
4 尾气处理设备应设置防护罩。
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8.4.2 外延设备的尾气处理设备处理的尾气中含有氢气，氢气为燃烧爆炸性气体，从安全角度考虑，制定了本条规定。

8.4.3 三氟化硼(BF₃)和三氯化硼(BCl₃)宜采用等离子和淋洗两级处理方式，三氟化氯(ClF₃)宜采用热氧化和淋洗两级处理方式，三氯硅烷(SiHCl₃)、二氯硅烷(SiH₂Cl₂)宜采用等离子式和淋洗两级处理方式。

8.4.4 从真空泵至尾气处理设备入口之间的管道，应符合下列规定：
1 管道的材质宜采用不锈钢304或316；
2 当尾气中含有遇低温易析出粉尘的物质时，管道应采取加热措施。
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8.4.4 为了避免尾气遇低温时析出粉尘，从而堵塞管路系统，制定了本条第2款规定。

8.4.5 尾气处理设备出口之后的管道应采用防腐、导静电的材质。