5.3 处理设备
5.3.1 填料洗涤式废气处理设备应主要包括塔体、填料、循环泵、喷淋管道、喷头、集水槽、补排水管路、除雾器和自动控制系统。
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5.3.2 处理设备塔体应由耐酸碱腐蚀的材料制作。塔体应能承受系统工作压力，工作压力下变形量不应大于1／200。
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5.3.3 处理设备塔体应设置观察窗和检修口。
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5.3.4 填料应具有耐腐蚀、低阻力、抗变形、比表面积大的特性。应根据处理设备入口废气浓度、出口废气浓度、空塔速度、喷淋强度、填料技术参数计算确定填料层数和厚度。填料设计使用寿命不应低于5年。
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5.3.5 每套处理设备的循环喷淋泵应设置备用。循环喷淋泵流量不应小于计算流量的1.25倍，喷头设计供液压力不应低于工作压力的1.2倍。循环喷淋泵入口应设置过滤器。
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5.3.6 喷淋管道应为耐腐蚀管道，管道及配件承压不应低于1.0MPa。
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5.3.7 喷头应由耐腐蚀材料制作并均匀布置。
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5.3.8 集水槽应为整体构件，有效容积不应小于循环管路容积及填料持液量之和的2倍。
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5.3.9 除雾器对大于10μm粒径的水雾除雾效率不应低于99％。
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5.3.10 填料洗涤式废气处理设备应设置日用加药罐和加药泵，集中设置的加药泵应设置备用。
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5.3.11 日用加药罐应采用耐酸腐蚀材质制作，并应根据碱性废气成分、浓度、风量确定罐体容积。日用加药罐应设置液位探测计，输出液位报警信号，并应设计可目视的液位计。
5.3.12 加药泵宜采用计量泵，泵体应采用耐酸碱腐蚀材质。
5.3.13 加药管道应采用双层管道。
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5.3.14 填料洗涤式废气处理设备的自动控制设置应符合下列规定：
1 应设置循环液pH值、电导率、液位、填料压差和循环喷淋泵出口压力监控装置；
2 应设置可编程逻辑控制器(PLC)就地控制装置，自动控制加药、排水、补水以及风机状态监视；
3 监控信号应上传至工厂中央监视控制系统。
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5.3.15 处理设备及加药装置四周应设置围堰或防渗集液盘，并应设置漏液监测装置。
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5.3.16 设备基础、排水沟及围堰区域表面应做防腐处理。
5.3.17 处理设备及加药装置附近宜设置洗眼器、淋浴器。
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