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《电子工业废气处理工程设计标准》GB 51401-2019
住房和城乡建设部
实施时间:2020-04-01
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3 基本规定

3 基本规定

3.0.1 产生有害物质的工艺生产设备,宜采用自动化,并应采取密闭、隔离和负压操作措施。对生产过程中不可避免放散的有害物质在排放前,应采取净化处理措施,并应达到有关污染物排放标准。
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3.0.2 排风系统应按废气种类和不相容原则设置。
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3.0.3 下列情况之一时,应单独设置排风系统:
1 不同排风点不同的有害物质混合后能引起燃烧或爆炸;
2 混合后能产生或加剧腐蚀性或毒性;
3 混合后易使蒸汽凝结并聚积粉尘;
4 散发极毒和剧毒物质的房间和设备;
5 排风中含有燃烧爆炸性气体。
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3.0.4 当排风点需求压力相差250Pa以上,且所需压力绝对值的较大值出现在系统后三分之一管路时,宜分别设置排风系统。
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3.0.5 排气系统宜按照最大产能时的各工艺设备排气量计算,并据此确定废气处理系统的风量和排风管尺寸。

3.0.6 排风系统设计应符合下列规定:
1 含有燃烧爆炸性物质的局部排风系统应按物理化学性质采取相应的防火防爆措施;
2 排风中污染物浓度或排放速率超过国家和地区污染物排放标准时,应进行净化处理。
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3.0.7 排除有燃烧爆炸性危险物质的排风系统风量应经计算确定,并应符合下列规定:
1 采用局部排风系统时,其风量应按在正常运行和事故情况下风管内燃烧爆炸性危险物质的浓度不大于爆炸下限的50%计算。
2 有燃烧爆炸性区域的排风量,应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。
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3.0.8 废气处理系统的设备符合下列条件之一时,应采用防爆型:
1 直接布置在爆炸危险性区域内时;
2 排除、输送或处理有甲、乙类物质,其浓度为爆炸下限10%及以上时;
3 排除、输送或处理有燃烧或爆炸危险的粉尘、纤维物质,其含尘浓度为其爆炸下限的25%及以上时。
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3.0.9 当排风中含有的燃烧或爆炸危险物质可能出现的最高浓度超过爆炸下限值的10%时,废气处理系统的设备、风管和配件应符合下列规定:
1 风管和配件应采用金属材料制作;
2 设备和风管均应采取防静电接地措施;
3 当风管和配件的法兰密封垫或螺栓垫圈采用非金属材料时,应采取法兰跨接措施。
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3.0.10 有爆炸危险厂房内的排风风管,严禁穿过防火墙和有爆炸危险的车间隔墙。
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3.0.11 含有有毒有害物质或含有爆炸危险性物质的局部排风系统,其排出的气体应排至建筑物的空气动力阴影区和正压区外。
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3.0.12 当风管内可能产生凝结水或其他液体时,风管设计应符合下列规定:
1 排风管道应设置不小于0.5%的坡度;
2 风管的低点应设置观察检修口;
3 风管的低点和排风机的底部应设排液装置,有毒、有害的冷凝液应排至相应的废水管网中;
4 排风管的结构及连接方式应采取防液体渗漏措施。
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3.0.13 填料洗涤式废气处理设备的设置应符合下列规定:
1 断面风速宜小于2.5m/s。
2 填料厚度应经计算确定,但不应小于1.2m。
3 喷淋液循环量应取下列两项的较大值:
1)保证每1000m3/h废气量不小于1.5m3/h;
2)保证每平方米填料面积不小于15m3/h。
4 空塔滞留时间宜大于1s。
5 对每种污染物最低净化效率应根据排气筒高度、排放速率等计算确定,且不应低于《环境保护产品技术要求 工业废气吸收净化装置》HJ/T 387的有关规定。
6 严寒地区应设置在室内,寒冷地区宜设置在室内。
7 有冻结可能时,应采取防冻措施。
8 补水不宜采用纯水制备系统的反渗透浓水。
9 排水应接至相应的废水管网中。
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3.0.14 排风中含有有毒有害物质时,不应采用压入式废气处理系统;排风中含有挥发性有机物污染因子时,宜采用吹吸式废气处理系统。
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3.0.15 酸、碱、挥发性有机物废气处理设备的压力损失不应大于1000Pa。
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3.0.16 废气处理设备不应设置旁路。
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3.0.17 排风中含有燃烧爆炸性、毒性物质时,排风系统设计应符合下列规定:
1 燃烧爆炸性、毒性物质未经处理的排风管路,应保持相对于路由区域的负压值;
2 中央废气处理系统应按一级负荷供电,一级负荷供电的电量应保证系统排风量不小于正常运行时系统排风量的50%;
3 排风中含有燃烧爆炸性物质时,排风机应设置备用;
4 排风中含有极毒或剧毒物质时,排风机和处理设备均应设置备用。
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3.0.18 废气处理系统的排气筒的设计应符合下列规定:
1 排气筒的高度不应低于15m,且应符合环境影响评价文件的要求;
2 排气筒的高度不能达到要求时,应按其高度对应的排放速率标准值严格50%执行;
3 排放氯气、氰化氢以及含有其他极毒物质废气的排气筒高度除应符合本条第1款、第2款要求外,还不应低于25m;
4 排气筒的出口风速宜为15m/s~20m/s;
5 排气筒上应设置用于检测的采样孔,并应设置相应的监测平台;
6 一定区域内同种污染物的废气系统,其排气筒宜合并设置;
7 排风口与机械送风系统的进风口的水平距离不应小于20m,当水平距离不足20m,排风口应高出进风口,并不应小于6m。
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3.0.19 废气处理系统的风管应符合下列规定:
1 风管材料的防腐蚀性能应与其所接触的腐蚀性介质相适应;
2 集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管应采用不燃材料制作;
3 风管内的风速应符合生产环境对防微振的要求;
4 室外安装的排风管道应采取耐腐蚀措施,并应设置固定装置;
5 穿过沉降缝时应设置软连接,其材质应符合本条第1款要求;
6 风管的支吊架应根据风管的尺寸及重量进行设计。
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3.0.20 符合下列条件之一时,风管应采取补偿措施:
1 穿过沉降缝时;
2 输送高温烟气的金属风管;
3 线膨胀系数不小50×10-6℃-1,且直段连续长度大于20m的非金属风管。

3.0.21 符合下列条件之一时,风管及配件应采取绝热措施:
1 室外安装的废气处理系统,其排风被冷却而可能形成凝结物堵塞或腐蚀风管;
2 除尘风管内可能有结露时;
3 所输送废气的温度大于或等于60℃。
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3.0.22 废气处理系统排风管的绝热应符合下列规定:
1 安装在洁净室(区)内排风管的隔热应采用不产尘的绝热材料,当使用产尘的绝热材料时,应为具有双层板夹绝热材料构造的成品绝热风管;
2 集成电路前工序工厂和平板显示类工厂的排风管,应采用不燃绝热材料进行隔热。
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3.0.23 废气处理系统的排风机宜采取自动调速措施。
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3.0.24 废气处理系统并联运行的排风机或处理设备应符合下列规定:
1 采用相同型号、相同性能的设备;
2 在每台风机或处理设备的入口设置电动或气动密闭风阀,该风阀在工作压力下的漏风率不应大于1%。
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3.0.25 排除或输送有燃烧或爆炸危险物质的风管,不应穿过防火墙和防火隔墙;其余酸性、碱性、挥发性有机物和特种废气系统的风管不宜穿越防火墙或防火隔墙,当必须穿越时,防火阀的设置应符合下列规定:
1 不应设置熔片式防火阀;
2 含有极毒和剧毒物质的排风系统不应设置防火阀,但紧邻建筑构件其中一侧的排风管应采用与建筑构件耐火极限相同的构造进行保护。
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3.0.26 当采用非再生式固定床吸附剂处理废气时,吸附剂的连续工作时间不应短于3个月。
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3.0.27 废气处理系统排风机的单位风量耗电功率限值应符合现行国家标准《电子工程节能设计规范》GB 50710的有关规定。

3.0.28 废气处理系统产生的噪声,当自然衰减不能达到室内外环境允许噪声标准时,应采取消声或隔声措施。
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3.0.29 当废气处理系统的风机、水泵、风管等产生的振动靠自然衰减不能满足要求时,应采取隔振措施,其设计应符合下列规定:
1 宜采用隔振台座;
2 应选用刚度适宜的隔振器;
3 安装在有微振要求区域内的风管宜采用隔振支、吊架。
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3.0.30 排风总管应设置测定孔,排风支干管应设置风量调节阀。排风支干管较多的废气处理系统,每个支干管末端宜设置微压计。
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3.0.31 酸性、碱性、特种废气和除尘系统的排风管应采用圆形,其他废气系统的排风管宜采用圆形或长边与短边之比不大于4的矩形截面。
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3.0.32 选择废气处理设备时,应符合下列规定:
1 设备的额定处理风量应在系统计算的总风量上附加10%;
2 循环泵的流量应在系统需求流量值上附加10%;
3 酸、碱、特殊及挥发性有机物废气处理设备在工作压力下的漏风率不应大于1%;
4 处理设备的承压能力不应低于工作压力的1.5倍。
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3.0.33 选择废气处理系统的排风机时,应符合下列规定:
1 应满足工况参数及废气的温度、腐蚀性、爆炸性等特性要求;
2 风机的风量应在系统计算的总风量上附加10%;
3 排风机风压应满足管路、处理设备和末端工艺设备需要的负压;
4 采用自动调速排风机时,排风机的压力应以系统计算的总压力作为额定风压,但风机电动机的功率应在计算值再附加15%~20%;
5 排风机的选用设计工况效率不应低于风机最高效率的90%。
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3.0.34 处理设备的入口和出口应设置采样口,宜设在气流稳定段。
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3.0.35 废气处理系统宜设置污染因子在线监测装置。
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3.0.36 排风系统应设置运行状态及排风系统故障的监控报警系统。

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