6．3真空泵
6.3 真 空 泵
6.3.1 真空泵安装允许偏差应符合表6.3.1的规定。
表6.3.1 真空泵安装的允许偏差
6.3.2 真空泵试运行时，机械(填料)密封的泄漏量应符合设备文件的规定。
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