9  电气设计

9.1  供电系统

9.1.1薄膜陶瓷基板生产厂的供电系统设计除应满足生产工艺要求外，还应符合现行国家标准《供配电系统设计规范》GB 50052的有关规定。

9.1.2生产用主要工艺设备宜由独立变压器或独立低压馈电线路直接供电。

9.1.3变压器的台数和容量应根据生产工艺及其配套辅助设施、公用动力设施的用电负荷特点和变化状况，正确配置。

9.1.4变压器的选择应符合下列规定：

1应选择低损耗、低噪声的节能型变压器，并且变压器的能效等级不应低于六级；2变压器之间宜设低压联络。

9.1.5对电源连续性有特殊要求的设备及仪表，应设置不间断电源；对电源可靠性有特殊要求的设备，应设置应急电源。

9.1.6  消防负荷的供配电设计应符合现行国家标准《消防设施通用规范》GB55036和《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。

9.1.7  厂房低压配电电压等级应满足生产工艺用电要求。系统

接地形式宜采用系统的中性线与保护线分开或系统的中性线与保

护线先合一后分开的系统。

9.1.8  对注入电网谐波量较大的设备，宜在设备处及变压器低压

母线上设置相应的谐波处理装置，分梯级治理。

9.1.9  变电所宜设置能源管理系统，并应配置电流表、有功电能

表等计量装置。

9.2  照明、配电和自动控制

9.2.1  薄膜陶瓷基板厂房主要生产用房间一般照明的照度值宜为3001x～5001x。

9.2.2  备用照明的设置应符合下列规定：

1  洁净区内应设置备用照明；

2备用照明宜作为正常照明的一部分，且不宜低于该场所一般照明照度值的10%。

9.2.3厂房内应设置供人员疏散用的应急照明和疏散标志，设置的位置和要求应符合现行国家标准《消防设施通用规范》GB 55036和《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。

9.2.4洁净区内一般照明用灯具宜采用吸顶明装、不易集尘、便于清洁的洁净灯具。当采用嵌入式灯具时，安装缝隙应有可靠的密封措施。光刻间的照明应选择符合光刻要求的灯光，宜采用黄光。

9.2.5薄膜陶瓷基板生产厂房的配电系统设计应符合产品生产工艺要求。

9.2.6低压电源进线应设置切断装置，并宜设置在洁净区外便于管理的场所。

9.2.7√有净化要求的生产工艺间内宜选择不易积尘、便于擦拭的配电设备。

9.2.8  技术夹层内的电气配管宜采用金属管。洁净区的电气管线宜暗敷，穿线导管应采用不燃材料。

9.2.9  洁净区的电气管线管口及安装于墙上的各种电器设备与墙体接缝处应有可靠的密封措施。

9.2.10  等离子增强化学气相沉积工作间的电气设备选型，应符合现行国家标准《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。

9.2.11  洁净区的净化空调系统应具备自动控制功能。

9.2.12  净化空调系统采用电加热器时，电加热器与风机应连锁

控制，并应设置无风、超温断电保护；当采用电加湿器时，应设置无水、无风断电保护。

9.3  通信、信息

9.3.1  厂房内通信设施的设置应符合下列规定：

1应设置便于洁净区内外及各工段间联系的语音通信装置；2可根据管理及工艺需要设置数据通信装置；3  系统布线宜采用综合布线系统；4通信机房、配线间不宜设置在洁净区内。

9.3.2厂房应设置火灾自动报警及消防联动控制，系统的报警、联动控制及显示功能应符合现行国家标准《消防设施通用规范》GB 55036和《火灾自动报警系统设计规范》GB50116的有关规定。

9.3.3薄膜陶瓷基板生产广房应设消防控制室，应设置火灾报警控制器及联动控制盘，与厂区监控中心连通，接收报警信号并应启动相应的消防设备。

9.3.4生产用房内应设置火灾报警系统，火灾报警系统应符合现行国家标准《消防设施通用规范》GB55036和《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。

9.3.5设置了气体探测器的场所应设置有别于火灾报警系统的声光报警装置。当发生气体泄漏报警时，应联动启动现场及值班室的声光报警装置，关闭相关部位的气体紧急切断阀，联动启动相应的事故排风机，并应将报警信号送至消防控制室。

9.3.6  消防控制室不应设置在洁净区内。

9.3.7  洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可靠。

9.3.8  厂房应设置事故应急广播系统，该系统宜同时具有公共事务广播的功能。洁净区内应采用不影响空气洁净度等级的扬声器。

9.3.9  厂房中宜设置闭路电视监控系统和门禁控制系统。