4.2  精密设备及仪器容许振动值

4.2.1  电子工业用精密设备及仪器、纳米实验室及物理实验室用精密设备及仪器在频域范围内竖直向和水平向的容许振动值可按表4.2.1采用。

表4.2.1  电子工业、纳米实验室、物理实验室用精密设备及仪器容许振动值

   注：振动速度、振动加速度为1／3倍频程均方根值。

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4．2．1电子工业、纳米实验室及理化实验室等所用精密设备及仪器的容许振值，即表4．2．1所规定的微振动标准，是一个与国际常用标准接轨的容许振动标准。该标准于1983年由美国BBN公司提出，即所谓的VC曲线，1993年，美国环境科学技术协会(Insti-tuteofEnvironmentalSciencesandTechnology)确认，称为IEST研究报告。由于电子工业的飞速发展，设备及工艺方法的快速更新，2007年IEST又导入了纳米技术采用设备的容许振动限值，从而形成了一个比较完整的标准。
我国自改革开放以来，电子工业发展迅速，特别是在集成电路、液晶显示器、纳米技术、新能源技术、激光技术等方面，建成了一大批工厂及实验室，同时由于产品更新而引起的设备更新及技术进步更是日新月异，这类工程设计与建设，都有防微振技术需求，其中对于精密设备及仪器的容许振动值的确定，几乎都采用IEST标准，而且在工程建成投产后，均满足了生产要求。因此可以认为，采用该标准是恰当的。
表4．2．1所列容许振动值有如下特点：
(1)由于精密设备及仪器本身是一个多自由度的复杂弹性系统，自身具有多个固有振动频率及阻尼比，当外界振动频率与其固有振动频率相一致时，系统产生共振，将影响其正常工作。而对于外界环境振动，大量实测及研究结果表明是一种随机振动过程，本身含有丰富的简谐振动频率，为了确保设备及仪器的正常工作，在频域对外界环境振动幅值进行限制，以减弱因共振等振动影响是较为科学的。因此，表4．2．1所列容许振动值采用频域表达。
(2)频域采用1／3倍频程带宽表示，这是因为对于随机振动频谱，采用1／3倍频程带宽来描述带宽振动的能量是合适的，同时，设备制造商提供的容许振动值也基本采用1／3倍频程带宽表示。
(3)由于随机振动能量分布在较宽的频率范围内，用峰值描述难以反映随机振动特性，采用均方根值有利于数据的检验及比对，因此表4．2．1中振动幅值采用均方根值。
(4)在标准产生的初期，由于当时的设备及仪器对于小于4Hz的频段的振动不敏感，因此就不考虑其振动影响，对于4Hz～8Hz频段，则反映对振动加速度敏感，因此采用振动加速度作为控制指标。随着时间的推移，电子工业及以后出现的激光、纳米技术等，工艺精度越来越高，就需研发精度更高的精密设备及仪器，这类新研发的设备及仪器，自身带有空气弹簧隔振装置，而它们的固有振动频率往往在1Hz～3Hz，为了防止在这些频段的振动影响，对容许振动值的频段范围延至1Hz，也即提高了对低频段的振动限值要求。

4.2.2  实验室用精密设备及仪器在时域范围内竖直向和水平向的容许振动值可按表4.2.2采用。

表4.2.2  实验室用精密设备及仪器容许振动值

   注：1  振动位移和振动速度为峰值；

       2  表内同时列有容许振动位移及容许振动速度的精密设备及仪器，两者均应满足。

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4．2．2本条对实验室用精密设备及仪器的容许振动值的规定，沿用了现行国家标准《隔振设计规范》GB50463中的有关规定。

4.2.3  消声室和半消声室在频域范围内竖直向和水平向容许振动值可按表4.2.3采用。

表4.2.3  消声室和半消声室容许振动值

   注：振动加速度为倍频程均方根值。

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4．2．3本条明确了消声室和半消声室容许振动加速度值与这些声学实验室所要求的本底噪声级别有关，对于要求本底噪声级别低的(即严格的)，其容许振动值也小。对于这类声学实验室，振动频率限制在31．5Hz～500Hz，并按倍频程计算。

4.2.4  消声水池在频域范围内的竖直向和水平向的容许振动值可按表4.2.4采用。

表4.2.4  消声水池容许振动值

   注：振动加速度为均方根值。

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4．2．4消声水池是为声学器件或声学装置进行水池声学实验的一个建筑设施，根据声学实验的要求，需对消声水池壁及池底的振动有所限制，其容许振动值在频域衡量。通常频率下限都在400Hz以上，而对于1000Hz以上的振动，在土中及结构中衰减较快，可以忽略，因此，取频段400Hz～1000Hz范围是可行的。